(資料圖片僅供參考)

4月26日，由中科院高能物理研究所濟南研究部（濟南中科核技術研究院）自主研發(fā)的全自動IGBT缺陷X射線三維檢測設備，在功率半導體行業(yè)聯(lián)盟第八屆國際學術論壇上亮相。該設備依托X射線計算機層析成像（CL）技術和先進的缺陷智能檢測軟件算法，為IGBT模塊封測提供了全新的無損檢測解決方案。

IGBT（絕緣柵雙極晶體管）是一種功率半導體器件，俗稱電力電子裝置的“心臟”，作為國家戰(zhàn)略性新興產業(yè)，在高鐵、新能源汽車、軌道交通、智能電網、航空航天等領域應用極廣。

中科院高能物理研究所副研究員劉寶東介紹，目前，對IGBT檢測的常用手段是超聲檢測，但非常容易受散熱柱的干擾，導致檢測偏差。另外，超聲檢測要將模塊浸入到水中，需要隔離水的工裝，還需要人工操作，檢測過程復雜，難以實現在線檢測，效率比較低。與此同時，IGBT模塊具有兩個焊料層，用普通的二維X光成像，會將兩層混在一起，無法區(qū)分，而且有些大功率的模塊帶有散熱柱，會嚴重影響氣孔檢測的準確率。

劉寶東介紹，該設備基于X射線計算機層析成像技術，并將人工智能（AI）算法引入檢測系統(tǒng)，可對不合格產品進行自動識別及分揀。實現了IGBT模塊的全自動在線無損檢測，數據實時反饋存儲，有效解決了雙層焊料疊加、及散熱柱導致X射線2D檢測不準確的難點。

“設備研發(fā)成功歷時十余年?！眲殩|說，“2006年左右我們就研發(fā)了一批面向國家重大需求的工業(yè)CT。后來在國家重大科學儀器設備開發(fā)專項的資助下，我們研發(fā)了專用于板狀古生物化石的X射線三維層析成像儀器，可以稱為1.0版本，為古生物學家提供了新的觀測工具。此后，我們針對集成電路先進封裝的檢測需求，研發(fā)了分辨率更高、更成熟的2.0版本儀器。這些都是全自動IGBT缺陷X射線三維檢測設備的研發(fā)奠定了基礎?！?/p>

全自動IGBT缺陷X射線三維檢測設備。中科院高能物理研究所供圖

關鍵詞：